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PANDORA 是高度集成的臺(tái)式原子層沉積系統(tǒng)，可擺放在實(shí)驗(yàn)室的任意角落，采用旋轉(zhuǎn)式反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)對(duì)粉末材料的分散，有更高的兼容性。對(duì)于平面樣品，則可快速插入平面反應(yīng)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)樣品的切換。PANDORA 高度集成的特點(diǎn)提高了使用效率，使用者甚至在安裝的第一天便可以開(kāi)始 ALD 實(shí)驗(yàn)。【ALD 包覆改性方案】
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