臺式掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外,還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進行掃描電鏡觀察前,要對樣品作相應的處理。
為什么臺式掃描電鏡檢測物品成像無顏色
掃描電鏡是用電子打在樣品上,用電子束成像。這主要是因為電子的波長小,光的波長在400到700納米量級,而電子的波長公式是 lambda=h/(mv),一般用的電壓是80kV 到 300kV,電子的波長就是在0.01納米左右,和原子的大小接近。更短波長的好處,是可以觀測到更小尺寸的東西,否則會因為波的衍射和干涉無法分辨。通常看到的生物樣品,和高倍昆蟲圖片,是用掃描電鏡拍到的,實際上這是電子顯微鏡中放大倍數低的,純科普的。這些其實還可以用光學顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色,對于電子來說,它不是光,因此沒有顏色一說。因此樣品成像無顏色。
掃描電子顯微鏡目前*泛的用途是看電子元件,像CPU現在都是25納米制程,這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品,比如骨頭斷面組織之類也會用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像(外觀)。
掃描電鏡采用二次電子和背散射電子兩種探測器。同時配備4個可選光闌(30、50、100、200um),通過改變電子束大小可提供高分辨率圖像。
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