掃描電鏡配備能譜儀,主要能分析材料表面微區的成分,分析方式有定點定性分析、定點定量分析、元素的線分布、元素的面分布。例如夾雜物的成分分析。兩個相中元素的擴散深度、多相顆粒元素的分布情況。
掃描電鏡在醫學和生物學中的應用
隨著掃描電鏡分辨力溝不斷提高和樣品制備技術的逐步改善,它在醫學生物學的研究中發揮了巨大乍用,具有重要約實用價值。特別是近年來,由于冷凍割斷法、化學消化法以及樹脂鑄型法等新技術的創建,使人們在掃描電鏡下可以直接觀察組織細胞內部超微結構的立體圖象,能夠顯示器官內微血管和其他管道系統在組織內的三維構筑,為醫學生物學亞顯微領域的深入探討,提供了更為良好的條件。
掃描電子顯徽鏡在地質工作中的應用
掃描電子顯微鏡主要通過對微體古生物、巖石、礦物的形態和結構構造特征的研究,巖石、礦物的元素組成、變化規律及其賦存狀態的研究,解決地質科研和生產中的各種問題。它直接或間接應用于古生物學(主要是微體古生物)、礦物學、巖石學、隕石學、礦床學、構造地質學、礦床綜合評價和礦產綜合利用等方面的研究。
掃描電鏡在材料和冶金行業中的應用
場發射掃面電鏡采用場致發射電子槍代替普通鎢燈絲電子槍,可得到很高的二次電子像分辨率。采用場發射電子槍需要很高的真空度,在高真空度下由于電子束的散射更小,其分辨率進一步得到提高。同時,采用磁懸浮技術,噪音振動大為降低,燈絲壽命也有增加。場發射掃描電鏡的特點是二次電子像分辨率很高,如果采用低加速電壓技術,在TV狀態下背散射電子(BSE)成像良好,對于未噴涂非導電樣品也可得到高倍像。所以,場發射掃描電鏡對半導體器件、精密陶瓷材料、氧化物材料等的發展起到很大作用。